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スキマゼロの転がり案内によって高剛性、高精度を実現
1つの製品で直動(Z)、回転(Θ)、吸着が可能な複合商品。小径ボールねじと小径ポールスプラインのオーバーラップによるコンパクト化を実現。
1軸・2軸ステージ、XYθステージ、Zチルトステージ、XYθZステージ