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流体でありながら、外部磁場によって磁性を帯び、磁石に吸い寄せられる機能性素材。
磁性流体を利用し、真空雰囲気内への回転導入機としての役割を担う真空シール。半導体・FPD・LED・太陽電池各製造装置の機能部品として利用。
流体でありながら、外部磁場によって磁性を帯び、磁石に吸い寄せられる機能性素材。
アルミナ、窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミ、ジルコニア、低熱膨張