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メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信号でやりとりできる特徴
フローメータ(面積式流量計)は、上端が下端より拡がった円錐状の筒(テーパ管)の中に浮子(フロート)を入れたもので、流量の大小によりフロートが上下し、その釣り合う位置を読み取り、流量を求めるもの。
精密タイプや簡易タイプなど様々なニードルバルブに加え、ニードルバルブとダイヤフラムを組み合わせたフローコントローラや、電気的に流量制御を行う比例ソレノイドバルブまで製造
超音波流量計、カルマン渦流量計
圧力制御バルブには減圧弁と背圧弁があり、減圧弁は、一次側の変動する圧力に対し二次側の圧力を一定にするための調節弁で、一般に装置の初段に多く用いられる。
空気から窒素を取り出すことで、高純度の窒素ガス（95～99.999%）を供給する装置。