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半導体用ウェーハや、マスクなどの洗浄を目的とした高周波の洗浄機
部品などの洗浄を目的とした洗浄機
非接触で連続的に対象との距離を測定
超音波によりパイプ内を流れる液体の流速を広範囲で計測。流体温度200℃までの高温薬液に対応している超音波流量計。
洗浄機用振動子、加工機用振動子
・半導体(樹脂・セラミックパッケージ・ICチップ・リードフレーム)のクラック、ボイド、層間剥離の検出
・セラミック製品のクラック・ボイド検出
・樹脂、金属、鋳物部品のボイド・クラックの検出
・金属溶接・ロウ付け部のボイド・剥離検出