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質量流量計やラミナフローメータにより流量を測定し、流量判定基準に従って良否判定を行う。通気流量測定や性能検査等に最適。
高精度圧力センサを搭載したデジタル圧力計
制御再現性が±0.1%の能力を備えた電空レギュレータ。 小流量から、大流量まで幅広いラインアップがある。
密封されたワークの内側(あるいは外側)を空気により加圧し、その圧力変化で漏れを判定するテスタ。
エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできるテスタ。水素5%+窒素95%の工業用混合ガス(非可燃性ガス:ISO10156:2017)をトレーサーガスとして使用。
ヘリウムリークテストシステムは、検知ガス(トレーサガス)にヘリウムガスを使用し、漏れ出たヘリウムを検知するテストシステム。
水晶発振子、セラミック発振子、MEMS、SAWフィルター、小型リレー等、気密性が求められる各種小型電子部品のリークテストを自動で行う装置