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数十mmの可動全域をナノレベルでポジショニングが行え、スケール内蔵により高い位置再現性も備えた長ストローク高精度ステージ
直動ステージ、回転・チルトステージ、光学ミラーアライメント用、対物レンズフォーカス用、精密加工機用 他
mgレベルの小な力にも反応する「微小力タイプ」と、100N以上の荷重も安定して測れる「高剛性タイプ」を揃えた力検出センサ。