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物体が直進運動する際に生じる誤差成分の6要素中の4要素(運動方向に直角な平面内の変位2成分とヨーイング、ピッチング)を高精密に同時測定する装置
卓上除振台、デスク型除振台、防振ゴム式精密除振台、空気バネ式精密除振台、アクティブ除振台ユニット