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製造装置とは、IC、LSIなどの半導体集積回路を製造するために用いる半導体製造装置。半導体集積回路は簡単には、ウェーハを作り、フォトマスクを使って回路パターンを写真製版で形成、エッチング、酸化、イオン注入、薄膜形成などを経て集積回路を形成、その後ダイシング、マウンティング、モールドなどのプロセスで製造される。半導体製造装置はこれらのプロセスで用いられる様々な製造装置、搬送装置などである。
抵抗加熱タイプ、電子ビームタイプ
絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置
電子ビームマスク描画装置、マスク検査装置、エピタキシャル成長装置
塗布装置、タイトラー、液晶点灯検査装置、ロールtoロール ドライ成膜装置、マイクロLED製造装置
フリップチップボンダー、真空印刷封止装置、キャピラリーコータ（ウェーハ、異形状塗布）、ウェーハ専用タイトラー、スポットリフロー装置、レーザーマイクロトリミング装置
ガラスやプラスチック、金属などの材料の上に薄膜形成が可能
パワーデバイスなどの裏面電極形成やUBM、多層膜形成に最適な装置
コンパクトで操作が簡単、豊富なオプションを揃えたロードロック式タイプとバッチ式タイプのスパッタリング装置
エッチング装置、 プラズマアッシング装置、洗浄装置、ダイボンダ、フリップチップボンダ、スパッタリング装置、真空蒸着装置、レーザマーカ
半導体製造工程において使用されるウェハ専用容器（カセット／ボックス）レチクル専用容器などをメインとした容器洗浄装置
ダイボンダー、ダイソーター、ボンディング強度試験装置、ウェハテープマウンティング装置
ワイヤボンダ、ダイボンダ、フリップチップボンダ、プラズマ処理装置、VPSリフロー装置、ダイシングシステム
スパッタリング装置、PE-CVD装置、蒸着装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、真空炉、凍結真空乾燥装置
高真空アニール炉、周波数調整装置、ベース電極成膜装置
スピンドライヤー、ウエハ移載機、リフトオフ装置、テープマウンター、プリカッター、テープリムーバー、キャリア洗浄機
テープ貼付け、プレス、搬送・整列、基板分割、移載
コーターシステム、ガラスカッティングシステム、基板搬送システムオートローダー、基板搬送ロボット
EFEM/ソーター、ウェーハ搬送ロボット、アライナ、ロードポート、SMIFポッドオープナ
自動マクロ検査装置、ウェハ外観検査装置、イメージセンサー検査用照明装置
露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めている。
ArF液浸スキャナー、ArFスキャナー、KrFスキャナー、i線ステッパー
塗布・塗工、コーターシステム、真空成膜、ウェット処理、乾燥・焼成、露光、貼付け・貼合せ
ウェーハ洗浄装置、コータ・デベロッパ、熱処理装置、計測装置、後工程用露光装置
コータ／デベロッパ、マエッチング、サーフェス プレパレーション、成膜、ウェーハプローバ
ダイシングソー、カッティングソー、レーザソー、グラインダ、ポリッシャ、ドライエッチャ、サーフェースプレーナー
CoW Die Bonder, Flip Chip Bonder,Manual Bonder, Solder Die Bonder
Substrate, Wafer
ウェハ表面欠陥検査装置、ウェハ外観検査装置
マグネトロンスパッタリングシステム、熱蒸着システム、E-ビーム蒸着システム、反応性イオンエッチングシステム、プラズマプロセスシステム、コンパクトリサーチコーター等
ウェーハマウンター、ウェーハデマウンター、ウェーハ面取機、チップソータ、ソーター、半導体エージング装置、リフトオフ装置、ウェーハ加工機、組立機（ボンダー）
ファンクショントリマ、チップ抵抗トリマ
Si,GaAs ウェハの他、UVレーザ搭載モデルは、SiC,GaN のウェハにも レーザーマーキングが可能
半導体 / LED / 太陽電池分野向け、露光装置、エッチング装置、洗浄装置、乾燥機等
シリコン深掘り装置、エッチング装置、成膜装置、熱処理装置
Si・化合物パワー半導体、MEMS、太陽電池、VCSEL、OLED等の熱処理装置
基板用、ウェハー用
光通信／光デバイス用 高精度ボンダ、フリップチップボンダ、高精度ダイボンダ、イメージセンサ用高精度ボンダ、
【ご注意】 ここで紹介する製品・サービスは企業間取引（B to B）の対象です。 各企業とも一般個人向けには対応しておりませんのでご承知ください。
| 順位 | 企業名 | クリック割合 |
|---|---|---|
| 1 | ローツェ | 14.3% |
| 2 | サンユー電子 | 8.6% |
| 3 | シンフォニアテクノロジー | 5.7% |
| 3 | ニューフレアテクノロジー | 5.7% |
| 3 | 東レエンジニアリング | 5.7% |
| 3 | ハーモテック | 5.7% |
| 3 | ダルトン | 5.7% |
| 8 | 東京精密 | 2.9% |
| 8 | 芝浦メカトロニクス | 2.9% |
| 8 | ウシオ電機 | 2.9% |
| 8 | ヒューグルエレクトロニクス | 2.9% |
| 8 | テクノアルファ | 2.9% |
| 8 | アルバック | 2.9% |
| 8 | 昭和真空 | 2.9% |
| 8 | スピードファム | 2.9% |
| 8 | オーク製作所 | 2.9% |
| 8 | マイクロ・テック | 2.9% |
| 8 | 大宮工業 | 2.9% |
| 8 | エスクラフト | 2.9% |
| 8 | 永田精機 | 2.9% |
| 8 | 平田機工 | 2.9% |
| 8 | 高田工業所 | 2.9% |
| 8 | ニコン 半導体装置事業 | 2.9% |
| 8 | SCREENファインテックソリューションズ | 2.9% |
※クリック割合(%)＝クリック数／全企業の総クリック数 このランキングは選択の参考にするもので、製品の優劣を示すものではありません。