LEDチップスポット測定システム

高分解能FEB測長装置、設計データ応用計測システム、欠陥レビューSEM、ウェーハ表面検査装置、暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

絶縁抵抗測定・リーク電流測定、導体抵抗測定、DC電流印加試験、電気特性評価システム

自動光学検査装置(AOI)

エッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステム

パターン付ウェーハ外観検査装置

ウェーハ用平坦度測定装置、円盤用表面形状測定装置

"Klarity(R)"　歩留まり解析ソフト/システム

ウェーハ形状／特性測定装置、欠陥／異物検査装置、歩留まり解析ソフト／システム

視野角測定において、液晶パネルの位置制御＋液晶表示画像制御＋分光輝度計データ収集を自動測定

専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、ウェハの表面・裏面の変位測定

シングルポイント膜厚測定システム、顕微鏡式膜厚測定システム、自動マッピング膜厚測定システム

温度可変反り検査装置、インラインバンプ検査装置、多面取り基板バンプ検査装置、ウェーハマイクロバンプ検査装置、FC-CSP基板バンプ検査装置

汎用三次元検査装置、ICパッケージ基板バンプ検査装置、ウェーハバンプ検査装置

メモリーICバーインチャンバー、パワーデバイス耐電圧試験装置、温湿度バイアス印加（THB）試験装置、ウエハーベークオーブン、HASTシステム、超低温液循環装置

加熱形状変化を３D動画変化で計測観察

非破壊光学測定技術により、半導体チップ (ウェーハ) の超精密測定と分析が可能

ハンダボールリペア装置、ウエハー外観検査装置、ウエハーレビュー装置、表裏パターンずれ検査装置、マイクロLED検査＆リペア装置、狭ベゼル対応レーザーボンディング装置、ダイレクトレーザーソルダリング装置

シール剤断線検査装置、パネル貼り合せズレ検査装置、パーテイクル検査装置、スペーサー検査装置、Wave Line 検査装置

ライフタイム測定装置、平坦度・形状測定装置、魔鏡システム、エッジ・ノッチ形状測定装置、エッジロールオフ測定装置、ソーティングシステム・移載機、貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置、結晶性評価装置(FPD）

ＳｉＣ／ＧａＮ関連 ウェハ表面検査装置、ウェーハ表面検査装置 表面パーティクルスキャナ

カラーフィルタ分光特性測定装置、光学特性検査装置、分光放射輝度計、動画特性評価装置、透過率・反射率測定装置、膜厚検査システム、配光測定装置