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測定検査装置とは、半導体製造工程での電気的特性、光学特性、形状・寸法測定などの測定検査のための装置。半導体に限らず、工業生産されるものは生産ラインの各工程において常に欠陥が監視され、歩留まり率向上や信頼性確保のための解析とフィードバックが実施される。電子機器の生産では欠陥品の修正もあるが、半導体の場合は一部に例外はあるものの修正はほぼ不可能で、欠陥の除去、再発防止、選別などを目的とした検査となる。
LSI の多ピン化に対応した Low コスト版コンパクトテスタ。オープン・ショート検査に加えリーク検査も可能。
高分解能FEB測長装置、設計データ応用計測システム、欠陥レビューSEM、ウェーハ表面検査装置、暗視野式ウェーハ欠陥検査装置
走査型電子顕微鏡（SEM）の技術を応用し、フォトマスクやウェーハ上の配線パターンなど微細な表面構造を高精度かつ安定的に測定
絶縁抵抗測定・リーク電流測定、導体抵抗測定、DC電流印加試験、電気特性評価システム
エッチング、スパッタ、CVD等のプロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステム
パターン付ウェーハ外観検査装置
"Klarity(R)" 歩留まり解析ソフト/システム
ウェーハ形状／特性測定装置、欠陥／異物検査装置、歩留まり解析ソフト／システム
視野角測定において、液晶パネルの位置制御＋液晶表示画像制御＋分光輝度計データ収集を自動測定
専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、ウェハの表面・裏面の変位測定
温度可変反り検査装置、インラインバンプ検査装置、ウェーハマイクロバンプ検査装置
汎用三次元検査装置、ICパッケージ基板バンプ検査装置、ウェーハバンプ検査装置
波長分散型蛍光X線分析装置、反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学素子、全反射蛍光X線分析装置、高分解能X線回折装置、X線トポグラフィ装置、結晶方位測定装置、CD SAXS
LEDチップスポット測定システム
加熱形状変化を３D動画変化で計測観察
非破壊光学測定技術により、半導体チップ (ウェーハ) の超精密測定と分析が可能
ハンダボールリペア装置、ウエハー外観検査装置、ウエハーレビュー装置、表裏パターンずれ検査装置、マイクロLED検査＆リペア装置、狭ベゼル対応レーザーボンディング装置、ダイレクトレーザーソルダリング装置
シール剤断線検査装置、パネル貼り合せズレ検査装置、パーテイクル検査装置、スペーサー検査装置、Wave Line 検査装置
ライフタイム測定装置、平坦度・形状測定装置、魔鏡システム、エッジ・ノッチ形状測定装置、エッジロールオフ測定装置、ソーティングシステム・移載機、貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置、結晶性評価装置(FPD）
SiC/GaN ウェハ表面検査装置、ウェーハ表面検査装置、表面パーティクルスキャナ
【ご注意】 ここで紹介する製品・サービスは企業間取引（B to B）の対象です。 各企業とも一般個人向けには対応しておりませんのでご承知ください。