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マイクロポンプとは、比較的に小型の少量流体移送のためのポンプ。マイクロには各論ありで、先端的なポンプでは顕微鏡レベルのものも存在するが、それらは未だ産業用として流通する状況にはなく、規格や標準があるのでもない。相対的な表現である。製品にはダイヤフラム型が多いが、他の構造のものもある。アプリケーションとしては、医用機器、分析装置、燃料電池、プリント関連装置などが中心になっている。
小型エアーポンプ・真空ポンプ・液体ポンプ
セラミックスの超音波振動を応用して「空気ポンプ」として動作させるエアデバイス
駆動部に圧電セラミックを使用しているこのダイヤフラムポンプは、駆動信号に対しダイヤフラムが高速応答するのでインクジェットのように液体を飛ばすことも可能
チューブポンプ
ピエゾ素子駆動ダイアフラム式マイクロポンプ
3V駆動（0.15W）時に、毎分流量15ml
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| 順位 | 企業名 | クリック割合 |
|---|---|---|
| 1 | シナノケンシ ASPINA | 21.7% |
| 1 | マブチモーターオーケン | 21.7% |
| 3 | ミネベアミツミ | 8.7% |
| 3 | 村田製作所 | 8.7% |
| 3 | 日本計器製作所 | 8.7% |
| 3 | アクアテック | 8.7% |
| 7 | 日東工器 | 4.3% |
| 7 | 高砂電気工業 | 4.3% |
| 7 | 電装産業 | 4.3% |
| 7 | Bartels Mikrotechnik | 4.3% |
| 7 | ベテル | 4.3% |
※クリック割合(%)＝クリック数／全企業の総クリック数 このランキングは選択の参考にするもので、製品の優劣を示すものではありません。