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ArF液浸スキャナー、ArFスキャナー、KrFスキャナー、i線ステッパー
露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めている。
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