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【UV-LED照射装置】樹脂硬化 貼り合わせ 等 ●面照射、線照射、インライン用 用途に合わせてカスタマイズ ●波長の組み合わせ照射可能 265、275、310、365、385、395、405nm 【エキシマUV照射装置】表面洗浄、表面改質 等 ●波長172nm 当社独自技術 面発光フラットタイプ 均一高照度 ●波長222nm 除菌用エキシマランプ 【UVレーザー】LLO デボンディング ITO除去 微細加工 等 ●波長355nm 発振器だけでなく光学系も含めたシステムとして提案可能
【UV-LED照射装置】樹脂硬化 貼り合わせ 等 ●面照射、線照射、インライン用 用途に合わせてカスタマイズ ●波長の組み合わせ照射可能 265、275、310、365、385、395、405nm 【エキシマUV照射装置】表面洗浄、表面改質 等 ●波長172nm 当社独自技術 面発光フラットタイプ 均一高照度 ●波長222nm 除菌用エキシマランプ 【UVレーザー】LLO デボンディング ITO除去 微細加工 等 ●波長355nm 発振器だけでなく光学系も含めたシステムとして提案可能
フォトンエネルギーが高い172nmの真空紫外光(VUV)
波長:265 / 275 / 280 / 285 / 300 / 310 / 340 / 365 / 385 / 395 / 405nm