日本最大の電子・産業部品ポータルサイト indexPro
indexPro のご利用にあたって
2022年4月より、利用規約を制定しています。詳細は indexPro 利用規約 をご確認ください。
また本ウェブサイトでは、利用者の個人情報について法令およびその他の規範を遵守し利用者の個人情報の保護に努めております。
利用にあたりIPアドレス、またはセッションIDを取得することがありますが、これらは匿名化した上で統計利用しています。
詳細につきましてはこちらをご覧頂ください。
高精度なスキャン動作を可能にするリニアモータ
高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラ
露光・高精度検査装置用XYステージ
高精度な半導体製造装置に必須となる位置決めステージ。真空状態で高速・高精度に動作してナノレベルの位置決めが可能なエアサーボステージ。
フォースセンシング機能を兼ね備えた関節により、これまで困難だったピン入れなどの繊細な作業を可能にしている
対象製品をあらゆる角度から検査可能 (ロボットアームにより3Dで追従)