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超音波熱圧着ボールボンダー、ウェハーレベル バンプボンダー、ワイヤボンダ、エポキシ・ダイボンダー、ワイドエリア・ディープアクセス(多目的)ボンダ、Cu ピラー搭載機
精密洗浄装置:微細な汚れや残留物が許されない、高度な製造工程向け。工業用洗浄装置:頑固な油汚れや切削粉の徹底的な除去を目的としたシリーズ。スタンドアローンタイプ:研究開発(ラボ)やメンテナンス、軽微な汚れの洗浄など。
低周波数(26kHz~38kHz)機械加工部品の脱脂洗浄など、中間周波数(78kHz~160kHz)HDD部品やレンズなどの繊細な素材の洗浄に、高周波数(200kHz~950kHz)半導体ウエハやFPDなどの精密洗浄に。