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低抵抗のAgを導電体として使用したセラミック多層回路基板
電圧の制御により、微細な伸縮変化による振動を発生するため、高精度な制御機構に適した圧電アクチュエータ
圧電素子を使用したリニア型の超音波モータ
96%アルミナ、アルミナジルコニア基板、高強度アルミナ基板、エアパスプレート