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耐薬品性、非粘着性、電気特性など様々な優れた特性
パーフロエラストマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)と同様に、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、耐候性等の多くの優れた性能
半導体 / LED / 太陽電池分野向け、露光装置、エッチング装置、洗浄装置、乾燥機等