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エッチング装置、 プラズマアッシング装置、洗浄装置、ダイボンダ、フリップチップボンダ、スパッタリング装置、真空蒸着装置、レーザマーカ
コンパクトで操作が簡単、豊富なオプションを揃えたロードロック式タイプとバッチ式タイプのスパッタリング装置
パワーデバイスなどの裏面電極形成やUBM、多層膜形成に最適な装置
2種類以上のターゲット材料を搭載可能で、多層膜形成可能
液晶パネル製造用 配向膜インクジェット塗布装置などで培ったインクジェット技術を生かし、医療用医薬品製造における錠剤への印刷装置を製品化