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指示計と計量物や用途に合わせて選択可能な台はかり(EXM)の組み合わせで、爆発危険場所でも高精度計量が可能。
ウェハ表面欠陥検査装置、ウェハ外観検査装置
高速検査(100PPH/8inch)、独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能
ディスク記録面、OD・IDの境界部、OD端面含む全面検査が可能
圧縮型ロードセル、引張型ロードセル、ビーム型ロードセル、レベルセル