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高分解能FEB測長装置、設計データ応用計測システム、欠陥レビューSEM、ウェーハ表面検査装置、暗視野式ウェーハ欠陥検査装置
試料表面に電子線をあてた際に発生する電子を利用して、表面構造を観察する走査電子顕微鏡(SEM)と、薄い試料を透過させた電子線を検出することで内部構造を観察する透過電子顕微鏡(TEM)・走査透過電子顕微鏡(STEM)
光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置
雷の放電によって電源あるいは信号ラインにあらわれる誘導雷サージを吸収
DC1～5VまたはDC4～20mAの入力信号を受けて、内部設定信号と比較し、2点/4点の警報リレー接点信号を出力する警報器
流量・圧力・温度などのプロセス信号を受けて、絶縁した統一信号に変換する信号変換器
大きな検体を丸ごとCTスキャン、高密度金属・複合材も撮像可能、高精度な内部観察、欠陥解析が可能